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電子探針X射線顯微分析儀

文章簡介：

即運用電子所形成的探測針（細(xì)電子束）作為X射線的激發(fā)源，來進(jìn)行顯微X射線光譜分析?；驹硎请娮邮?jīng)過電子光學(xué)系統(tǒng)如靜電或電磁透鏡聚焦到樣品中約1平方微米的區(qū)域，樣品

發(fā)布時間：2024-01-08 17

關(guān)鍵詞：電子,探針,射線,顯微,分析儀,即,運用,電子所

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來源：北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所

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即運用電子所形成的探測針（細(xì)電子束）作為X射線的激發(fā)源，來進(jìn)行顯微X射線光譜分析。基本原理是電子束經(jīng)過電子光學(xué)系統(tǒng)如靜電或電磁透鏡聚焦到樣品中約1平方微米的區(qū)域，樣品經(jīng)電子束的轟擊，輻射出X射線；通過X射線譜儀，對待測元素X射線譜的波長和強(qiáng)度進(jìn)行測量，逐點地定性和定量分析。通過電子掃描同步系統(tǒng)和電子顯示，可使樣品中各種組成的分布情況，以放大的圖像直接顯示于熒光屏上。因此，電子探針X射線顯微分析儀是礦物研究工作中既能微觀觀察，又能同時分析微區(qū)成分的精密儀器。

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