因業(yè)務(wù)調(diào)整，部分個(gè)人測(cè)試暫不接受委托，望見諒。

檢測(cè)項(xiàng)目

樹脂成分分析

測(cè)定酚醛樹脂、丙烯酸酯類或化學(xué)放大樹脂的分子量分布及官能團(tuán)含量。重點(diǎn)監(jiān)控樹脂聚合度（PDI≤1.2）、羥基值（150-250 mgKOH/g）及熱分解溫度（≥300℃）等關(guān)鍵參數(shù)。

光引發(fā)劑定量

精確測(cè)定二苯甲酮類、硫鎓鹽類等光敏物質(zhì)含量（ppm級(jí)），驗(yàn)證其吸收波長(zhǎng)（365-193nm）與量子效率（≥0.8）。同步監(jiān)測(cè)分解產(chǎn)物濃度以控制副反應(yīng)。

添加劑體系驗(yàn)證

分析表面活性劑（氟系/硅系）、流平劑及穩(wěn)定劑的配比精度（±0.5%）。特別關(guān)注含硫/金屬添加劑殘留量（≤10ppb）。

溶劑殘留檢測(cè)

測(cè)定丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）、環(huán)己酮等溶劑的殘留量（≤50ppm），建立沸程分布（120-180℃）與蒸發(fā)速率（0.8-1.2g/m2·s）的對(duì)應(yīng)關(guān)系。

金屬雜質(zhì)控制

采用ICP-MS檢測(cè)鈉、鉀、鐵等23種金屬元素（≤1ppb），重點(diǎn)監(jiān)控過(guò)渡金屬對(duì)曝光區(qū)蝕刻速率的影響系數(shù)（K值≤0.05）。

檢測(cè)范圍

紫外光刻膠系列

覆蓋g線（436nm）至i線（365nm）全系產(chǎn)品：包括正性/負(fù)性光刻膠的膜厚均勻性（±5nm）、折射率（1.6-1.7）及駐波比（≤1.05）等光學(xué)特性。

深紫外光刻膠

適用于KrF（248nm）與ArF（193nm）曝光系統(tǒng)：重點(diǎn)評(píng)價(jià)抗干法蝕刻能力（選擇比≥3:1）、線寬粗糙度（LWR≤4nm）及曝光寬容度（≥15%）。

極紫外光刻膠

匹配EUV（13.5nm）光源特性：監(jiān)測(cè)靈敏度（10-30mJ/cm2）、分辨率（≤16nm HP）及出氣率（≤5×101? molecules/cm2）。

特殊功能型光刻膠

包含雙層結(jié)構(gòu)用犧牲層材料、電子束直寫膠及納米壓印膠：驗(yàn)證階梯覆蓋率（≥95%）、顯影速率比（1:1.2-1.5）及熱流變特性（Tg≥150℃）。

檢測(cè)方法

色譜-質(zhì)譜聯(lián)用技術(shù)

HPLC-MS/MS測(cè)定樹脂分子量分布（MWD），GC-MS分析揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs），LC-QTOF實(shí)現(xiàn)未知物結(jié)構(gòu)解析（質(zhì)量精度＜2ppm）。

光譜分析法

FTIR鑒定官能團(tuán)特征峰（4000-400cm?1），UV-Vis測(cè)定吸光度曲線（200-500nm），橢偏儀計(jì)算復(fù)折射率（n&k值精度±0.001）。

熱分析技術(shù)

TGA測(cè)定熱失重曲線（升溫速率10℃/min），DSC分析玻璃化轉(zhuǎn)變溫度（±0.5℃），TMA監(jiān)控?zé)崤蛎浵禂?shù)（CTE≤50ppm/℃）。

表面表征技術(shù)

AFM測(cè)量表面粗糙度（Ra≤0.5nm），SEM-EDX進(jìn)行元素面分布分析，XPS測(cè)定表面化學(xué)態(tài)（結(jié)合能精度±0.1eV）。

檢測(cè)儀器

高效液相色譜儀

配備示差折光檢測(cè)器與蒸發(fā)光散射檢測(cè)器：色譜柱溫控精度±0.1℃，流動(dòng)相梯度誤差＜1%，保留時(shí)間重復(fù)性RSD≤0.5%。

飛行時(shí)間質(zhì)譜儀

質(zhì)量范圍m/z 50-20000，分辨率≥40000（FWHM），質(zhì)量精度＜2ppm。配備MALDI源實(shí)現(xiàn)高分子量物質(zhì)電離。

電感耦合等離子體質(zhì)譜儀

檢出限達(dá)ppt級(jí)，動(dòng)態(tài)線性范圍＞10?。四極桿碰撞池技術(shù)消除多原子干擾，同位素比測(cè)定精度±0.05%。

納米壓痕測(cè)試儀

最大載荷500mN，位移分辨率0.01nm。通過(guò)Oliver-Pharr法計(jì)算彈性模量（E=5-10GPa）與硬度值（H=0.2-0.8GPa）。

激光散射粒度儀

測(cè)量范圍1nm-10μm，采用Mie散射理論計(jì)算粒徑分布。配備動(dòng)態(tài)光散射模塊測(cè)定Zeta電位（±30mV）。

檢測(cè)流程

1、咨詢：提品資料(說(shuō)明書、規(guī)格書等)

2、確認(rèn)檢測(cè)用途及項(xiàng)目要求

3、填寫檢測(cè)申請(qǐng)表(含公司信息及產(chǎn)品必要信息)

4、按要求寄送樣品(部分可上門取樣/檢測(cè))

5、收到樣品，安排費(fèi)用后進(jìn)行樣品檢測(cè)

6、檢測(cè)出相關(guān)數(shù)據(jù)，編寫報(bào)告草件，確認(rèn)信息是否無(wú)誤

7、確認(rèn)完畢后出具報(bào)告正式件

8、寄送報(bào)告原件